
世界那么大
啦啦啦啦

這個問題很奇怪,估計是沒有真正搞懂光纖,激光這些概念。所謂單模和多模的模都是指的電磁波的傳輸模式,可以對應是電磁場分布的一個解,如果波導結構只能允許一個模式傳輸,就是單模,反之則是多模。光纖是一種波導,自然有單模和多模光纖之分。激光器也是一種波導,因此輸出的激光也有單模和多模之分。但是并沒有激光中的單模多模光纖。

多結VCSEL,顧名思義是多PN結的VCSEL激光器,英文是Multi-Junction VCSEL,其優點是發光效率比較高,比如2020年歐司朗子公司Vixar在Photonic West期間發布的三結VCSEL激光器可以達到60%的轉換效率,遠高于同類單結性能的 53% 峰值電光轉換效率。Vixar的產品中雙結的斜率效率為 2 W/A,三結則為 3 W/A。國內中山新亮光子開發的雙結VCSEL的效率效率也可以達到2.2W/A。
多結 VCSEL 為客戶帶來諸多重要優勢。例如,效率更高,有助于降低整體熱負荷。功率密度更大,可以大幅減小芯片和封裝尺寸,從而簡化光學設計和系統架構。
多結VCSEL的結構
斜率效率更高,意味著僅需超低的正向脈沖電流即可達到與單結 VCSEL 相同的光功率。對客戶的好處是大幅降低了所需的電流,進而提高了驅動器的切換速度。電流的降低使 VCSEL 可以在1 納秒脈沖下,獲得高達數十瓦甚至數百瓦的功率。
多結VCSEL雖然性能突出,但是其多個PN結之間的連通難度也比較高,國外有Vixar和Lumentum等先后發布,國內只有中山新亮,常州眾慧

光波Lightwave雜志是美國,也可能是全球歷史最悠久的光通信雜志。最近這些年雖然轉為線上為主,但是其在行業內的地位依然無可替代。光波雜志的創新獎Innovation Adwards評比印象中最早可以追溯到2016年,是該雜志面向全球光通信工業推出的一項產品評比,主要由廠商自愿報名,依據產品類別分別由雜志方面邀請行業內知名專家圍繞創新程度,解決客戶痛點的程度,應用前景等方面打分,一般得分3.5分以上者為優勝者。光波每年會在3月份OFC期間發布評比成果,并在OFC期間進行宣傳推廣。獲得獎項的廠商會得到光波頒發的獎杯。
雖然產品參加屬于自愿報名,一些大公司因此可能沒有參與,但是在全球范圍內,該評獎結果在技術領先程度和影響力方面依然是首屈一指的。

光纖傳感為城市交通運輸和基礎設施維護降低監測結構健康所需的總體成本,主要由于以下幾點:
1.遠距離測量能力;
2.傳感器壽命最長;
3.同一系統上的多參數指標;
4.單通道上的多個傳感器部署。
光纖傳感代替傳統監測技術可規避以下問題:
1.傳統傳感器信號傳輸距離有限,需要在測試點附近部署采集設備;
2.多種類型的傳感器需要多種不同的數據采集硬件;
3.傳感器的使用壽命短,需要人力進行硬件維護和替換;
4.多個數據采集終端會引發聯網問題而影響數據分析。

光纖陀螺儀是一種光纖傳感器,廣泛應用于導航定位領域。傳統的慣性陀螺儀主要是指機械式的陀螺儀,機械式的陀螺儀對工藝結構的要求很高,結構復雜,它的精度受到了很多方面的制約。而光纖陀螺儀的出現,很好的解決了這些問題。
光纖陀螺儀原理:
光纖陀螺儀的原理基于薩格納克效應:將同一光源發出的一束光分解為兩束,讓它們在同一個環路內沿相反方向循行一周后會合,然后在屏幕上產生干涉,當在環路平面內有旋轉角速度時,屏幕上的干涉條紋將會發生移動,這就是薩格納克效應。那么這兩束光匯合到同一點時走過的光程相對于慣性空間是不同的,這個光程差和環路的旋轉角速度是成正比的,只要知道了光程差就可以得到旋轉角速度。
薩格納克效應示意圖
光纖陀螺儀原理圖
光纖陀螺儀優點:
光纖陀螺儀與傳統的機械陀螺儀相比,優點是全固態,沒有旋轉部件和摩擦部件,壽命長,動態范圍大,瞬時啟動,結構簡單,尺寸小,重量輕。與激光陀螺儀相比,光纖陀螺儀沒有閉鎖問題,也不用在石英塊精密加工出光路,成本相對較低。
光纖陀螺儀應用:
光纖陀螺的應用主要集中在定位、姿態控制和絕對方 向測量三個方面。光纖陀螺儀的精度不同,可以應用的領域也 就不同。IFOG按照精度不同可以劃分為低、中、高三種精 度,如下表所示
在不同精度的光纖陀螺儀中,中高精度的光纖陀螺主要應用在空間技術、軍事應用和科學研究領域,而低成本、低精度 光纖陀螺主要在汽車導航、定位和姿態控制、機器人等許多精度要求不高的民用領域中有廣闊的應用。
1 航海方面的應用
光纖陀螺儀在商用和軍用船舶及船用設備中得到應用。光纖陀螺儀羅經不僅可以作為高精度航向的信息源,實現自動定向,而且還可以得出航向回轉速率、橫、縱搖角度和航向的旋轉速率等可靠數據,進一步推動船舶的自動化發展,保證了船舶的操縱效果和保證航行安全。
2 航天及空間方面的應用
在航天和空間應用方面一般都采用高精度的干涉型光纖陀螺。其可為航天器提供三維角速度、位置以及攻角和側滑角,實現火箭升空發射的跟蹤和測定,也可用于空間飛行器導航和飛控。其中高精度、可靠性高的光纖陀螺與GPS組合定姿已成為國內外航天器定姿系統的典型構型。
高精度光纖陀螺儀
3 軍事方面的應用
光纖陀螺由于自身在角速率及加速度測量方面的優越性和在動態范圍、靈敏度和可靠性等方面的顯著優勢,使其在軍事方面有著廣泛的應用。當衛星導航在強電子干擾而無法獲得準確信息時,光纖陀螺可以用來保證飛行器自主導航、精確制導和準確命中目標。同時其組件還是航空火力控制系統的重要組成部分,可用于武裝直升機等武器系統瞄準線和射擊線的穩定,保證武器在運動中進行搜索、瞄準、跟蹤和射擊。另外,光纖陀螺也是水下唯一有效的導航技術,可用于潛艇的定位、定向和導航。
光纖陀螺制導的彈頭
4 民用方面的應用
在民用領域主要側重于中低精度光纖陀螺的應用,主要應用有:地面車輛的自動導航、定位定向、車輛控制;對農用飛機姿態控制,進行播種、噴灑農藥;在地下工程維護中,尋找損壞的電力線、管道和通信光(電)纜位置的定位工具和搶救工具;用于大地測量、礦物勘采、石油勘察、石油鉆井導向、隧道施工等的定位和路徑勘測,以及利用光纖陀螺轉動角和線位移實現大壩測斜等。
利用光纖陀螺的勘測儀
發展方向
1)高精度
在空間技術、軍事應用和科學研究領域,光纖陀螺儀的精度往往決定了它的身價。此時成本不是主要考慮的問題,精度的高低才是關鍵。
2)低成本
作為角度傳感器的光纖陀螺儀在汽車導航、機器人等許多精度要求不高的領域中的應用也是十分驚人的。因此,提高性價比在研究中變得十分重要。

AP(Access Point):接入點。 無線AP是移動計算機用戶進入有線網絡的接入點,主要用于寬帶家庭、大樓內部以及園區內部,可以覆蓋幾十米至上百米。無線AP又稱會話點或存取橋接器,是一個包含很廣的名稱。

電力貓通過電力線傳輸網絡信號,無論是什么戶型,無論家中哪個角落,無論隔了多少堵墻,通過母貓和子貓之間的配合,把WiFi信號延伸到室內的每一個角落,且支持越區漫游,徹底解決WiFi信號覆蓋及布線難題。

國外低中高精度光纖陀螺技術已發展成熟,國內低中精度光纖陀螺技術發展成熟。
國外研制光纖陀螺的主要單位包括法國XBlue公司、美國Honeywell公司、Northrop Grumman公司以及俄羅斯Optilink公司等。中高精度早在2010年左右就已成熟,大量裝備應用,光纖陀螺市場份額逐年增加。美國Honeywell公司,航空導彈研究中心,英國Bookham公司等單位也均開展了集成化微小型光纖陀螺方面的研究工作。
國內低中精度光纖陀螺技術發展成熟,超高精度光纖陀螺技術發展迅速。在船用領域列裝、陸用市場,空間及彈用市場及其他民用市場大量應用,開拓前景廣泛。我國也非常重視光纖陀螺技術的研究,北京航空航天大學、北京理工大學、北方交大、航天集團13所、33所、上海803所,國防科大、清華大學、浙江大學、中科院上海技物所等都相繼開展了光纖陀螺的研制。
2. 國內外超高精度光纖陀螺技術發展迅速,國外新型光纖陀螺技術逐漸引起關注,國內取得關鍵技術及突破。
2020年4月,日本IEEE慣性學會會議,涵蓋光子晶體光纖、高精度光纖以及光纖陀螺優化三方面,光子晶體光纖陀螺研究開始深入。2019年奧地利科學院糾纏增強光纖陀螺的理論正確性得到了驗證,光子糾纏光纖陀螺開始萌芽。
國內光纖陀螺工程化技術連續3個5年計劃獲得裝發領域基金支持;繼環圈膠體、環圈可靠性項目,高精度光纖陀螺工程化技術獲裝發“先進制造技術”重點領域基金;光子晶體光纖獲得國家自然科學基金支持。相繼突破高精度光纖陀螺工程化技術,光纖陀螺噪聲深度抑制技術以及各項底層支撐技術及工藝。而高精度集成化的光纖陀螺是國內未來發展的重點,新型光纖陀螺也將引起關注和深入研究,光子晶體光學陀螺技術有望成為新的熱點。總之,光纖陀螺技術是向著高精度和小型化低成本的趨勢去發展。

傳統的AWG對溫度比較敏感(中心波長隨溫度的漂移為11pm/℃),因此需要進行溫度控制。有熱AWG是使用溫控電路和加熱器,使得AWG芯片處于70℃左右的恒溫環境中,令AWG的各個通道波長保持穩定。而無熱AWG采用特殊設計和工藝,使得波長不隨外界溫度變化而變化,不采用任何加熱裝置和控制電路,亦無需電路的輔助。無需外置電路控制,作為一種純無源器件,利用自身補償技術對外界溫度進行自適應控制,中心波長對于外界溫度的變化不敏感,可廣泛應用于城域網域和長距離DWDM光纖通信系統。 目前無源、熱不敏感的AWG的主要設計方法有:在波導陣列中插入與原波導材料溫度特性相反的材料或利用有機械移動部件的封裝來穩定波長,由于較低的損耗與以及較高的溫度穩定性,后者是目前市場的主流。 如圖所示Ignis Photonyx設計的、帶有移動輸入光纖的熱不敏感AWG的結構圖。光纖通過一根金屬棒固定,金屬棒隨著溫度變化而收縮與膨脹以補償PLC隨溫度的變化。通過對補償棒和AWG芯片進行仔細匹配,有可能抵消AWG對溫度的一階相關性。 光纖陀螺(FOG)是繼激光陀螺之后的第二代光學陀螺,它一般由光纖傳感線圈、集成光學芯片、寬帶光源、調制器和光電探測器組成。光纖陀螺又具有體積小、重量輕、可靠性高、壽命長、功耗低、結構簡單、價格低、易于集成、靈敏度和分辨率極高、瞬間啟動、抗電磁干擾、抗振動沖擊能力強、應用范圍廣等優勢。但不同應用領域采用不同精度的光纖陀螺,目前,已廣泛用陸海空天等涉及軍民兩用范圍的許多重要領域。光纖陀螺具有巨大的應用市場,在國家經濟和國防建設中起重要作用。光纖陀螺及其系統技術是一種經實驗驗證,可同時提供出色的準確性和可靠性的技術。

2. 集成化光纖陀螺在未來5-10年有望滿足導航級、微小型光纖陀螺的應用需求,大幅簡化光纖陀螺結構、降低產能、提升生產效率,促進近導航級軍、民用光纖陀螺市場大發展。在核心器件,核心工藝以及核心技術方面國內外都需要突破和關注。
3. 光子晶體光纖陀螺技術及光子糾纏光纖陀螺技術有望成為新的熱點。

1.?高精度光纖陀螺將是國內未來發展的重點,千分之一光纖陀螺將在3-5年內得到推廣應用,光纖陀螺依托電信器件發展,仍然有較大提升潛力,并且船用領域有望率先采用高精度光纖陀螺,因為國外已有先例,國內尚屬空白。
2.?集成化光纖陀螺在未來5-10年有望滿足導航級、微小型光纖陀螺的應用需求,大幅簡化光纖陀螺結構、降低產能、提升生產效率,促進近導航級軍、民用光纖陀螺市場大發展。在核心器件,核心工藝以及核心技術方面國內外都需要突破和關注。
3.?光子晶體光纖陀螺技術及光子糾纏光纖陀螺技術有望成為新的熱點。

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LGX 是美國OFS Fitel公司一種光纖布線方案的注冊商標,登記時間是1989年9月26日。這種方案的優點是支持快速安裝。
LGX是Light Guide Cross-connect的英文首字母縮寫。 這是一種通用的靈活的光纜管理系統,可以實現多種多樣的配置,支持LC, SC,ST等連接頭。
LGX 適配器面板為標準的130X29mm(5.13"X1.15"),安裝空間距118mm。
ABS是Acrylonitrile Butadiene Styrene的首字母縮寫,是指丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)是一種強度高、韌性好、易于加工成型的熱塑型高分子結構材料,又稱ABS樹脂。

2020開年后,新冠疫情使得各個產業都出現了復工難的問題,所以上半年對光通信產業的供應鏈體系造成一定的影響。
但同時,由于疫情期間,線上課程、線上會議等多種線上應用的爆發,網絡寬帶流量暴增,帶動了光通信產業鏈整體的需求。這些帶動的產業包括FTTx,5G無線傳輸,數據中心建設。
從2020年整體的情況來看,5G網絡建設進度在一定程度上受到抑制。
到2021年,隨著疫苗的進一步成熟,新冠疫情遠離我們,而人們對于線上應用的依賴,預計會帶來報復性的需求增長。
從長遠角度來看,在未來5-10年由于國內需求的巨大市場,以及國產化替代的路線,光通信產業將始終保持高速的增長。

集成光子芯片,或者光子集成芯片PIC是和集成電路相對應的光子領域的集成芯片,不僅包括存粹的光子集成芯片,也包括光電混合集成的芯片。根據材料的不同,光子集成芯片有InP材料的,典型產品如Infinera公司的PIC芯片;有二氧化硅材料的,典型產品如NeoPhotonics公司的集成ICR芯片等;也有基于硅基的硅光集成芯片,如Luxtera, Acacia等公司的產品。
光子集成芯片的應用領域很多,目前主要是在光模塊,尤其是高端光模塊領域,實現光收光發,調制,相干等功能。相比集成電路的發展,集成光子芯片的發展還處于早期,集成度最多不超過數百個元件。至今,不同材料的集成光子芯片技術之間的競爭仍在繼續。

HBT是英文heterojunction bipolar transistor的首字母縮寫,翻成中文是異質結雙極型晶體管。不同的半導體材質,其能帶結構不一樣,兩者相處時的界面會形成獨特的過渡層,具有同質結所沒有的高速特性。HBT在雙極性晶體管BJT的基礎上,把發射區改用寬帶隙的半導體材料,同質的發射結改為異質的,大大提升了發射極的效率和電子遷移率,具有開關速度快,工作溫度范圍寬等優點。
VCSEL是Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser首字母縮寫,中文是垂直共振腔面射型激光器。其激光垂直于頂面射出,與一般的邊發射激光器結構不同。因為便于耦合,成本較低,廣泛用于數據通信和消費電子領域。
HBT和VCSEL是不同的半導體結構,用于不同的領域。

子系統是英文Sub-system轉來的詞匯,是相對系統級的光設備而言,指的是完成某一部分功能的系統的相對獨立的組成部分。光傳輸系統里常見的子系統包括光放大器EDFA,光交叉連接OXC, 光上下話路復用ROADM,光線路保護OLP等等。這些子系統都是由多個光器件構成,完成特定的功能。比如EDFA就包括了泵浦激光器,光耦合器,光隔離器,摻鉺光纖等等。
一般的光傳輸系統都是多個子系統模塊配備光發,光收,電源,網管等來構成的。由于軟件定義網絡SDN的發展,子系統的白盒化(硬件標準化)成為趨勢,未來子系統產品勢必會在光通信系統中扮演更重要的角色。

華拓光通是位于綿陽的四川華拓光通信股份有限公司的簡稱。該公司于2010年12月02日成立,法定代表人范巍,發展十年,華拓已經成為行業一家主要的光模塊產品提供商,擁有較為完善的光模塊產品線,是10G到25G等速率光模塊的領先開發商,400G產品已經進入研發階段。2019年10月,深圳特發信息以7420萬人民幣收購華拓近65%股份,成為華拓最大股東,
華拓面向全球電信和數據中心市場提供服務,其ATOP品牌已經具有世界級的影響力。華拓的目標是為全球光通信客戶提供優質服務,引領全球光器件演進方向。
華拓總部和生產基地位于綿陽市涪城區金家林經濟開發區,同時在成都設有研發中心,在深圳,歐洲丹麥和美國加州都設有銷售部門。
在同時代眾多光模塊公司里面,華拓光通不是做得最出色的,但是屬于比較出色的。雖然在企業規模的提升上,速度沒有那些明星企業快,但是華拓還是很有自己的特色。一方面,他們的研發有特色,在中低速模塊領域尤其出色。在10G和25G光模塊的許多產品上,華拓都是領先的。而且他們也是最早發布25G光模塊的公司之一。由此可以看出,他們的產品技術路線還是比較清晰,雖然無力做最先進的高端模塊,但是卻在力所能及的領域做到盡可能好。華拓更大的特色在于銷售和市場運作。他們的國際化團隊可以說是行業里最優秀的,不下于那些行業領頭羊。尤其是華拓的品牌宣傳,LOGO設計,視頻推廣,都非常有大企業的氣質。這方面應該和其創始人范巍關系很大。說到華拓,不得不提范巍這個年輕的創始人。雖然并非技術出身,他的視野和領導力很值得稱贊。
值得稱贊的還有,華拓位于綿陽這樣的三線城市,能夠扎根綿陽十年,對于當地經濟,產業發展都是很有貢獻的。可能也正是因為在綿陽,他們的團隊相對穩定,能夠獲得的政府資源也相對較多。
對于特發的收購,長期看肯定利好。特發作為老牌國企,擁有自己獨特的資源,對于華拓是很好的支撐。

整個網站在國內訪問很卡,整個注冊過程我刷新了N遍才終于進入直播大廳。
直播大廳整個頁面結構比較簡單,主要有六大板塊:參展企業列表,參會者列表,在線參會者列表,每天的議程,在線會刊。
進入直播大廳之前我以為會跟我之前看過的亞太云端展(Cloud Expo Asia)一樣,是一個很有科技感的虛擬展會大廳,這一點兒略感失望。
隨機點了一家公司的展臺,出現的是一個3D模擬展臺,可旋轉,縮放。像真實展臺一樣有海報,也有視頻播放。展臺下方分別有顯示公司介紹,在線留言,預約參會者,和參會者即時通訊四部分。整個展位中規中矩,沒有顯示哪些人正在參觀該展臺,也沒有聊天室可供在線觀眾交流。
我有個小建議,能不能給展臺部分增加一個產品展示呢?3D虛擬展柜里陳列著展品,然后點擊每個產品就會顯示這個產品的細節部分以及相關文字說明。
在線會刊我挺喜歡,是那種虛擬的書本,不是簡單的PDF文件顯示,現在有的展會就直接扔一個PDF上去,這個明顯體驗更好些。可翻頁,有翻書聲,頁面可放大,可下載,廣告彩頁可以點擊鏈接到網站。
網站會顯示所有的參展商的參會者列表,并不會顯示參會者的私人聯系方式,僅能通過網站上在線通訊工具聯系。
中規中矩,沒什么驚喜之處。
最后還是要吐槽一下網速,太慢了。作為一個光纖通訊展,你網速那么卡對得起光纖通訊這幾個字么!
以上僅是本人的一點兒觀后感,不喜勿噴哦!

TOF是飛行時間(Time of Flight)技術的縮寫,即VCSEL激光器發出經調制的近紅外光,遇物體后反射,探測器通過計算光線發射和反射時間差或相位差,來換算被拍攝景物的距離,以產生深度信息,此外再結合傳統的相機拍攝,就能將物體的三維輪廓以不同顏色代表不同距離的地形圖方式呈現出來。
TOF技術主要是為了實現3D成像而生,和其競爭的技術包括散斑結構光、編碼結構光、雙目視覺以及雙目結構光等。結構光技術中接收模組需要拍攝到清晰的圖案才能計算出深度。而隨著距離的增加,投出的圖案或出現模糊,或出現亮度能量上的衰減,導致深度圖不完整,出現破洞,甚至于失效,所以3D結構光并不適用于遠距離深度信息采集。從產品設計上看,結構光的精度和Baseline(投射器和接收模組的距離)關系非常大,Baseline間隔越長,精度就越高。常用的Baseline至少需要保證20mm以上,iPhoneX更是選擇了27mm的Baseline。
TOF技術發射的是面光源,在一定距離內光信息不會出現大量的衰減,配合TOF芯片背照式的、大圖像尺寸的設計,大幅提升了光線收集率和測距速度,使遠距離應用成為可能。這也是TOF可以被用作手機后攝,而結構光無法用作后攝的原因之一。而且TOF就沒有Baseline的要求,投射器和接收模組可以緊挨在一起,尺寸上會更加緊湊。
TOF投射器主要包括VCSEL+Diffuser。TOF的VCSEL并不像結構光那樣對編碼圖案有一定要求,只是最常規的規則排列,器件制作上更為簡單,可供選擇的VCSEL供應商也會更多。結構光的VCSEL需要制作成特定的圖案,對圖案表現的一致性、器件高溫漂移情況、發熱表現、耐環境高溫等都會有更高的要求,總體來說,對VCSEL供應商的工藝及設計能力以及產品良率上考驗更大。TOF的Diffuser的設計制作難度,相對于結構光投射器中的DOE不可同日而語,能穩定供應DOE的廠商全球范圍內屈指可數,而Diffuser的生產則表現得更加容易,供貨廠商也更多。
TOF最具技術含金量的器件就是TOF芯片,然而TOF芯片和普通的可見光CMOS芯片在基礎構造上大同小異。目前芯片資源多來自日本的Sony,還有其他幾家日本、美國等供應商。
另外,TOF的核心算法在于深度信息的生成,通常由TOF芯片廠商提供Library,放在手機AP里面調用,算法整體運算量并不大,不需要額外附加處理芯片,對AP本身的硬件能力要求也相對不高。相同的方案和算法Library可供不同的手機廠商采用,移植簡單靈活,通用性更廣,不像結構光整體移植工程較為龐大,對平臺硬件有一定要求,且受制于專利等原因通用性沒有那么強。
TOF優點在于可以做到對逐個像素點的深度進行計算,近距離情況下精度可以很高;缺點則在于室外受自然光紅外線影響大、測量范圍窄(遠距離無法保證進度)以及成本較結構光要高。
目前的主流技術TOF技術采用SPAD(single-photonavalanche diode,單光子雪崩二極管)陣列來精確檢測并記錄光子的時間和空間信息,繼而通過三維重構算法進行場景的三維重構。SPAD是一類高靈敏度的半導體光電檢測器,被廣泛應用于弱光信號檢測領域。

MEMS的概念最早在1960年代提出來,但是一直到1980年代才真正進入商業化。工程師和科學家們想基于集成電路制造技術來做MEMS,最好是能做到一片芯片上。MEMS最早的商業應用案例之一是噴墨打印機墨盒上的小噴嘴。每臺打印機打印頭上的噴嘴包括了一個中空的腔。打印用的墨流到其中,利用微小的電加熱器加熱,然后通過噴口噴出。這個空腔就是基于同集成電路一樣的光刻技術制造的。
1982年,汽車的氣囊系統(最早在1950年代推出)也開始利用MEMS技術來檢測是否有碰撞發生。最早是模擬器件公司(Analog Devices)進一步發展了這個想法,1991年,這家公司開發出用于氣囊系統的加速器芯片用于檢測突然的車速下降,其中機械和電子部分都集成在一個芯片上。后來他們還開發出用于汽車的全球定位系統的片上陀螺儀。
信息來源
https://ethw.org/MEMS#:~:text=MEMS%20were%20first%20proposed%20in%20the%201960s%2C%20but,connected%20to%20electronic%20circuits%20on%20the%20same%20chip.